（1）高純石英ICP檢測技術(shù)包括：試樣制備和儀器檢測兩大部分，其技術(shù)關(guān)鍵是試樣的消解和溶礦制備。

實驗表明：在試樣制備過程中，所采用的試樣重量、試劑組合、試劑用量、試劑純度等對ICP檢測結(jié)果會產(chǎn)生重要的影響。

（2）試樣消解和溶礦制備的優(yōu)化條件是：高純石英用量≥2000mg；試劑純度為高純級（MOS或BV-III），試劑組合為HF+HNO3；濃HNO3分3次使用，總用量≥5mL；HF用量為25mL。

（3）根據(jù)高純石英砂加工工藝特點和對純度要求，在整個試樣制備過程中，都不能采用鋼篩，以避免產(chǎn)生鐵質(zhì)污染。

另外，在超凈實驗室條件下進(jìn)行高純石英試樣消解和溶礦制備，將有利于避免空氣雜質(zhì)污染、減少檢測誤差。

目前我國高純石英技術(shù)已經(jīng)取得一定進(jìn)展，主要標(biāo)志是初步具有4N高純石英中端產(chǎn)品的批量生產(chǎn)能力，并基本掌握了高純石英質(zhì)量檢測技術(shù)。但是，我國目前還沒有4N8及以上高端產(chǎn)品生產(chǎn)能力，表明與國際先進(jìn)水平的差距依然很大。

要改變我國高純石英技術(shù)的相對落后狀態(tài)，應(yīng)從國家層面上調(diào)動和組織科研力量，政、產(chǎn)、學(xué)、研相結(jié)合，開展高純石英原料選擇技術(shù)、加工工藝技術(shù)和加工裝備技術(shù)攻關(guān)，為我國高純石英高端產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化提供技術(shù)支撐。

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